更新時間：2024-07-24
| 產地 | 進口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 質保 | 1年 |
日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內部拋光Ra≤0.1，杜絕二次污染介質
±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場合
日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
性能參數：
| 示值(N2) | 1SCCM-20SLPM |
| 精確 | ±1.0%FS |
| 從復性 | ±0.2%FS |
| 加載失敗時長 | 1秒元 |
| 耐沖擊 | 1.0Mpa |
| 進口的大壓為 | O.3Mpa |
| 運行差壓 | 0.05-0.3Mpa |
| 外泄率 | 1*10-11pa·m³/s一些 |
| 內鏡面拋光 | Ra≤0.1 |
| 平均溫度比率 | 5-45℃ |
| 含水率比率 | 10-90%RH(沒有結霜) |
| 板材 | 主機SUS316L |
| 密封性圈SUS316L、PTFE | |
| 機電接頭 | DB9 |
| 模擬系統預警 | 0-5V鍵入/的輸出 |
| 變電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
| 濾油器連接方式 | 配值1/4UJR |
| 配選1/8UJR | |
| 體積 | 約1000g |
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陳工