日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器使用時進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈（濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米）。

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產地	進口	加工定制	是
質保	1年

日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器
日本KOFLOC5400系列質量流量控制器-金屬密封
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下
±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用

日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器

性能參數

測量范圍(N2)	10SCCM-20SLPM(并且50SLM
的精密度	±1.0%FS
連續性	±0.2%FS
出錯期限	1秒以內
抗壓	1.0Mpa
德國大學習壓力	O.3Mpa
小動作風壓差	0.05-0.3Mpa
漏洞率	1*10-11pa·m³/s下述
攝氏度范圍圖	5-45℃
溫度領域	10-90%RH(未能結水)
材料做	完整性SUS316L
	密閉圈SUS316L、PTFE
電力電氣電源接口	DB9
摸擬訊號	0-5V搜索/讀取
電力	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
內部管道進行連接	低配1/4UJR
	選用1/8UJR
載重量	約1000g

★的使用目光一：進氣供水管道上最好是重新安裝上的進行過濾皿、油脂剝離器使用的，維持有毒氣體的變干好（干濕度不不超90%(有一定未能漏電)、雜質殘渣灰塵不不超20廊坊可耐電器有限公司）。二：用洗手液水對輸送管做好信息泄露在線檢測時，就只能將洗手液水灑水在輸送管金屬接頭上，沒能噴在義表或電氣公司充電插頭上。三：安裝前，請將機械設備輸送管實行一體化吹掃。四：擊穿電壓1.0Mpa，原裝進口大水壓5多公斤。五：須得通過亮點漂移重置的時分，確定進/出口處沒水流量沒負擔下再運營。

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日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器使用時進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈（濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米）。

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